三坐标测量机的组成相对复杂，主要由机械部件、电气控制部件和计算机系统组成。通常，在使用三坐标测量机测量工件时，也要注意机器的维护，以延长机器的使用寿命。
下面我们从三个方面来说明三坐标测量机的基本保养。
机械部件
三坐标测量机的机械部件有很多种。我们需要日常维护的是传动系统和气路系统的部件。维护频率应根据测量机的环境确定。一般来说，对于环境较好的测量机，我们建议每三个月进行一次常规维护。如果用户使用环境中灰尘较多，测量间的温湿度不能完全满足测量机的使用环境要求，应每月进行一次常规维护。对于测量机的常规维护，我们应该了解影响测量机的因素
1.压缩空气对测量机的影响
绝大多数测量机使用气浮轴承使运动轴运动无摩擦，其原理是将压缩空气从气浮块孔中喷出，在气浮块与导轨之间形成一定厚度的气膜，使测量机各轴运动无摩擦，保证测量机的正常运动状态和测量精度。从上面可以看出，气浮块的正常浮动状态对测量机的正常运行非常重要。
1.压力对测量机的影响
在正常工作压力的前提下，气浮块的浮起间隙约为6~10μm，空气压力的波动会改变气浮块的气浮间隙，影响测量的重复性。当气压严重不足时，气浮块不能完全浮动，与导轨摩擦，轻影响测量机的运动状态和测量精度，严重磨损导轨和气浮块，严重损坏测量机。Z在气压严重不足的情况下，轴采用气动平衡的测量机会导致Z轴失衡，非常危险。因此，尽量保证测量机工作压力的稳定性。
1)选择合适的空气压缩机，最好有另一个储气罐，使空气压缩机工作寿命长，压力稳定。
2)空气压缩机的启动压力必须大于工作压力。
3)开机时，先打开空压机，再接通电源。
2.油水对三坐标测量机的影响
由于空气压缩机压缩空气，将空气中的水分子和油分子压缩成水和油，空气压缩机本身也需要润滑其机构，也使部分润滑油进入压缩空气。进入压缩空气的水和油随着压缩空气进入平衡气缸和气浮块。测量机工作时，水和油附着在导轨上，改变导轨的直线度。当测量机不工作时，管道中的油滴可能会堵塞气浮块的孔隙，使气浮块不能正常浮动，导致气浮块与导轨之间的摩擦，损坏测量机，使气管老化。管道中的水也会腐蚀气浮块和平衡气缸。虽然测量机配备了油水分离器或前置过滤器，但如果进入管道的水和油太多，过滤器就会因饱和而无法过滤，使水和油进入测量机。因此，必须采用前置过滤方法，尽量在水和油进入测量机之前过滤掉。
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