图像测量仪的测量是单轴、二维平面和三维空间坐标的测量。在测量过程中，首先对焦点进行最终计算和处理。对焦对准依赖于光学系统，读数来自尺度，即光栅系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为如果被测部件不能用有效和正确的照明图像方法测量仪器，测量结果显然应偏离其真实尺寸。除上述因素外，制约测量精度的因素还包括环境条件。在上述分析中，二次元影像测量仪可以总结出以下误差来源：
1)光栅计数尺误差；
2)直线度，工作台移动时角度的误差；
3)工作台两个测量轴垂直度引起的误差；
4)工作台面与显微镜光轴不垂直造成误差；
5)测量室温度偏离校准要求的参考温度的误差；
6)光源照明条件变化引起的对焦误差。
在这些因素中，二次元影像测量仪前四个误差在仪器制造过程中已经形成并固定，一般不能改变，是硬件误差。温度影响引起的误差必须通过控制测量室的温度和等温过程来减少。在实际测量中，最后一个往往被忽略，被测工件的图像质量和照明效果直接受到光源照明条件变化的影响，主要是因为图像测量仪的图像具有自动调节增益的功能CCD接收，但当亮度过大时，会失去调节功能，导致被测工件图像缩小，当亮度过低时，工件图像变大。因此，只要照明条件在整个测量过程中保持不变，其影响就可以忽略，因为每个重复的图形结构同时变大或变小，间距测量计算直接消除图像变形的影响；除此之外，如测量工件的长度、圆的直径和宽度，都会带来明显的误差。
028-81705293